12月3日下午，365英国官网登录入口在行政楼三楼会议室成功举办“先进制程化学机械抛光中纳米膜厚在线测量方法研究”学术讲座。讲座邀请福州大学机械工程学院王成鑫副教授(清华大学科研引进)担任主讲嘉宾，机械工程专业师生近100人参加。
王成鑫，博士毕业于清华大学高端装备界面科学与技术全国重点实验室。现任福州大学机电系副主任、中国机械工程学会半导体装备分会委员，研究方向为晶圆表面纳米膜厚在线测量、芯片化学机械抛光工艺及机理、晶圆传输系统设计等。曾参与国家科技02重大专项、国家自然科学基金委重大项目和国家重点研发计划等重要科研项目。在IEEE TIE、Int. J. Mech. Sci.、Tribol. Int、Meas.等国内外权威期刊上发表论文十余篇，已授权国家发明专利20余项。此次报告将目前芯片的制造关键技术对师生进行了相关普及，内容通俗易懂，此次讲座的举办，为师生搭建了前沿技术交流平台，进一步激发了大家投身国家“卡脖子”技术创新研发的热情，为学院相关学科建设与行业技术进步奠定了良好基础。
